装置定期点検

半導体製造装置 イオン注入装置のメンテナンス

対象となる装置

メーカー 機種
SEN HC3
SEN HE3
SEN LEX3
SEN SHXⅡ
日新イオン機器 EXCEED2300
日新イオン機器 EXCEED3000
バリアンセミコンダクターイクイップメント VIIStaHC
バリアンセミコンダクターイクイップメント VIIStaHCP
バリアンセミコンダクターイクイップメント VIIStaHCP PLUS
ご利用業界
  • 半導体製造(CPU,DRAM,フラッシュメモリ,システムLSI等)
  • フラットパネルディスプレイ(FPD)製造(液晶ディスプレイ,有機ELディスプレイ)

定期点検(メンテナンス)の流れ


  • 取り外し風景

  • 取り外し風景

  • 作業風景

  • 電気特性測定

  • リークチェック作業

  • 配管取り外し

  • イオン源接続フランジ取り付け

20年の実績に裏打ちされた作業の正確性
総勢30名のスタッフが、スピーディーかつ柔軟に対応

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次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
※各製品名をクリックの上、ヒアリングシートをダウンロードして下さい。

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