半導体製造装置 サーマルプロセス(熱処理成膜装置)装置|装置定期点検|理化学用ガラス機器の【旭製作所】

装置定期点検

半導体製造装置 サーマルプロセス(熱処理成膜装置)装置のメンテナンス

対象となる装置

メーカー 機種
東京エレクトロン Formula
東京エレクトロン α-303i
東京エレクトロン TEL-INDY
ご利用業界
  • 半導体製造 サーマルプロセス(熱処理成膜)

定期点検(メンテナンス)の流れ


  • 駆動部グリスアップ

  • 対地間抵抗測定

  • ガスボックス

  • 真空配管 MV

  • ウエハー搬送機調整

  • ウエハー搬入機調整

  • FIMS調整

  • FIMS調整

20年の実績に裏打ちされた作業の正確性
総勢30名のスタッフが、スピーディーかつ柔軟に対応

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次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
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