装置定期点検

半導体製造装置 ドライエッチャー装置のメンテナンス

対象となる装置

メーカー 機種
日立 U-702A
日立 U-712A
日立 U-7050
AMJ CENTURA DPS
日立国際電機 LAMBDA
【備考】
ドライメンテは、現状、メーカー、ユーザー様の作業リーダーのもと、サポート対応のみ対応可能です。
ご利用業界
  • 半導体製造

定期点検(メンテナンス)の流れ


  • 風速測定

  • ウェハー搬送機

  • ステージ

  • 反転

  • 排気側洗浄場所

  • 作業シーン

20年の実績に裏打ちされた作業の正確性
総勢30名のスタッフが、スピーディーかつ柔軟に対応

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次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
※各製品名をクリックの上、ヒアリングシートをダウンロードして下さい。

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