石英製品

酸水素バーナー

酸水素バーナー

高純度石英加工において 金属バーナー使用による金属粉の製品への混入防止対策として開発されたバーナーです。
ノズル数、焦点距離等御指示頂ければ設計、制作を行います。

特許 第3640071号

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石英ヒーター

石英ヒーター

加熱洗浄用、予熱用等に使用される、投げ込み式ヒーターです。耐酸、耐塩基(一部酸除く)素材の石英管を使用しています。 御希望の、サイズ、電気容量で制作致します。

特許 第3650927/3648681号

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石英熱交換器

石英熱交換器

高純度薬液蒸留においてホウケイ酸ガラスの純度に限界があります。 薬液蒸留プラント全体、又は主要個所に石英製品が使用されています。 弊社におきましては、 薬液の純度に応じた石英純度の素材でガラスプラントの制作を行います。

ウェハー用石英ボート

ウェハー用石英ボート

LPCVD/拡散プロセス・ウェットプロセス用石英ボード(縦型・横型)を製作致します。ウェハーの大口径化に伴う要求(特殊形状・高精度化)にも、長年の加工経験により培った技術でお応えいたします。各材質(合成・天然石英)にも対応いたしますので、ご相談ください。

角槽

角槽

ウェハーの薬液処理・超純水処理洗浄等に用いる石英製角層を製作いたします。お客様の使用用途に応じて、シングル槽からオーバーフロー付の2重槽まで、様々な形状に対応いたします。

ネジ切り加工製品

ネジ切り加工製品

ネジ切り加工を加えた製品もご要望に応じて製作可能です。ぜひご相談ください。

  ネジ種 ネジ長さ 備考
オスネジ M2~M60 200L以下 Φ250まで可能
メスネジ M24~M60 30L以下 Φ250まで可能
特殊ピッチ 最少0.01mmまで可能

光ファイバー用製品

光ファイバー用製品

光ファイバー製造工程において使用されるダミー・種棒・支持棒といった石英ガラス製補助材料(石英棒・管)、および光ファイバー製造用高性能石英バーナーなどの治具を製造・販売しております。

  • ・石英棒、石英管
  • ・光ファイバー製造用石英バーナー
  • ・石英インゴット製造用石英バーナー
  • ・光ファイバー製造用各種治具

石英ボール

石英ボール

製作サイズ:φ5~φ70mm
仕上げ:透明・摺り
※サイズは、上記以外のものもご相談に応じます。

その他石英製品

その他石英製品

石英ガラス棒・管、分析用石英トーチまで、お客様のご要望に合わせた製品を製作致します。

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不透明丸型石英ルツボ

不透明丸型石英ルツボ

unit: ppm

本体 Al Li K Na Ca Fe Ti Mg Cu B OH SiO?
14.0 0.9 0.6 0.9 0.4 0.23 0.6 0.05 0.05 0.08 50 99.99%
内層 Al Li K Na Ca Fe Ti Mg Cu B OH SiO?
8.0 0.15 0.35 0.9 0.4 0.23 0.6 0.05 0.05 0.04 50 99.99%

※製法上、黒点が残る場合があります。

サイズ
不透明丸型石英ルツボ

単位: mm

規格 外径(OD) 高さ(H) 厚み(W) 半径(R) 半径(r)
14" 355.6 ± 2.0 280 ± 2 8.5 ± 2.0 381 89
16" 406.5 ± 2.5 305 ± 2 9.0 ± 2.0 406 76
18" 457.0 ± 2.5 324 ± 2 9.5 ± 2.0 500 120
20" 505.0 ± 3.0 360 ± 2 10.0 ± 2.0 508 90
22" 555.0 ± 3.0 370 ± 2 11.0 ± 2.0 558 130
24" 607.0 ± 3.0 355 ± 2 12.0 ± 2.0 609 120
26" 655.0 ± 3.0 420 ± 2 12.0 ± 2.5 660 120

クオーツウエハー

酸水素溶融天然石英ガラス
    合成石英ガラス(酸水素溶融) 天然石英ガラス(酸水素溶融)
1 4"
100±0.25 mm
6"
150±0.25mm
8"
200±0.25mm
4"
100±0.25mm
6"
150±0.25mm
8"
200±0.25mm
2 オリエンテーションフラット 32.5 ± 2.5mm 57.5 ± 2.5mm 57.5 ± 2.5mm 32.5 ± 2.5mm 57.5 ± 2.5mm 57.5 ± 2.5mm
3 肉厚 0.5~5.0 ±
0.05 mm
0.5~5.0 ±
0.05 mm
0.7~5.0 ±
0.05 mm
0.5~5.0 ±
0.05 mm
0.5~5.0 ±
0.05 mm
0.7~5.0 ±
0.05 mm
4 表面研磨 光学グレード
(DSP)
光学グレード
(DSP)
光学グレード
(DSP)
光学グレード
(DSP)
光学グレード
(DSP)
光学グレード
(DSP)
5 端部仕上げ R付 R付 R付 R付 R付 R付
6 欠け <0.3mm <0.3mm <0.3mm <0.3mm <0.3mm <0.3mm
7 歪み none none none none none none
8 屈折率
(@632.8nm)
1.457 1.457 1.457 1.457 1.457 1.457
9 歪み点 >1050℃ >1050℃ >1050℃ >1050℃ >1050℃ >1050℃
10 徐冷点 >1150℃ >1150℃ >1150℃ >1150℃ >1150℃ >1150℃
11 OH 含有量 800~
1200ppm
800~
1200ppm
800~
1200ppm
150~250ppm 150~250ppm 150~250ppm
12 SiO2 99.9995% 99.9995% 99.9995% 99.98 % 99.98 % 99.98 %
13 気泡 <0.01mm <0.01mm <0.01mm <0.2mm <0.2mm <0.2mm

上記サイズ以外のお取扱いもございます。

LSIフォトマスク用合成石英基盤

Code 長 x 幅 肉厚 平坦度
Size(mm) Tolerance(mm) Size(mm) Tolerance(mm) 表面(μm)
4006 101.2 x 101.2 ±0.2 1.50 ±0.1 2
4009 101.2 x 101.2 ±0.2 2.30 ±0.1 2
5009 126.6 x 126.6 ±0.2 2.30 ±0.1 5
6009 152.0 x 152.0 ±0.2 2.30 ±0.1 5
6012 152.0 x 152.0 ±0.2 3.05 ±0.1 2
6015 152.0 x 152.0 ±0.2 3.80 ±0.1 2
6025 152.0 x 152.0 ±0.2 6.35 ±0.1 2

薄膜コーティング付き石英ガラス

1. 概要

クオールドはイオンアシスト蒸着法(IAD)とイオンビームスパッタ法(IBS)を用いた幅広い種類の薄膜コート付き石英ガラスをご提供しています。

【主なコーティング付き石英ガラス】

a.反射防止膜コーティング(AR) - Anti-Reflection (AR) coatings
 反射損失  R?0.2%

b.誘電体反射ミラーコーティング - Metal and Dielectric Mirror coatings
 紫外光、可視光、近赤外、赤外光向け高反射用
 多層膜メタルコーティング :反射率99%
 誘電体反射ミラーコーティング :反射率99.85%

積層金属は、金、銀、アルミニウム、クローム、ニッケル、チタン、プラチナ、タンタルウム、タングステンその他で、誘電体反射ミラーコーティングにはTiO2, Ta2O5, ZrO2, SiO2, HfO2, Al2O3, Y2O3 等が用いられています。

2. 一般的なサイズ

Φ50 x 2.0 mm, Φ55 x 1.4mm AR Coated.
標準品だけでなく、カスタム品の製造も承っております。

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次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
※各製品名をクリックの上、ヒアリングシートをダウンロードして下さい。

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