旭製作所では、イオン注入装置、サーマルプロセス（熱処理成膜装置）/CVD装置、DRY装置など、半導体製造関連装置の部品洗浄、オーバーホール業務を承っております。
従来の薬液洗浄や超音波洗浄に、最新技術であるドライアイス洗浄を組み合わせることで、素材を傷つけず、かつ精度の高い洗浄が可能になりました。ナノレベルの繊細な洗浄から、熱硬化した汚れの洗浄まで、どんな装置・汚れでも対応致します。

最先端の洗浄技術 ドライアイス洗浄

対応可能な装置

※その他、半導体関連装置以外の部品洗浄・オーバーホールもお気軽のご相談ください。

（例）

• 自動車製造関連装置（プラスチック金型のガス、プレス金型の鉄粉・油、塗装ブースの塗料の洗浄）
• プラスチック製品製造関連装置（射出成型機のスクリューのプラスチックやパージ材、金型の樹脂やガスの洗浄）
• ゴム製品製造関連装置（金型のゴム残留物や離型剤の洗浄）
• 出版・印刷関連機器（印刷機械のインクの洗浄）
• 化学工業装置（タンクや攪拌機内の原材料・コークス・熱硬化した紛体の洗浄）
• 石油・石炭製造関連装置（コールタール・石油タンクの錆の洗浄）

メンテナンス実施までの流れ