



旭製作所では、イオン注入装置、サーマルプロセス(熱処理成膜装置)/CVD装置、DRY装置など、半導体製造関連装置の部品洗浄、オーバーホール業務を承っております。
従来の薬液洗浄や超音波洗浄に、最新技術であるドライアイス洗浄を組み合わせることで、素材を傷つけず、かつ精度の高い洗浄が可能になりました。ナノレベルの繊細な洗浄から、熱硬化した汚れの洗浄まで、どんな装置・汚れでも対応致します。
旭製作所では、国内ではまだ珍しいドライアイス洗浄機をいち早く導入し、
より装置を傷つけにくく、より強力な部品洗浄を可能にしました。
ドライアイス洗浄の特長
※その他、半導体関連装置以外の部品洗浄・オーバーホールもお気軽のご相談ください。
(例)
西日本エリア全域(離島を除く)
※一部製品・一部業務はお受けできないエリアがあります。
次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
※各製品名をクリックの上、ヒアリングシートをダウンロードして下さい。
最寄りの営業所にお問合せいただくと、よりスムーズなご対応が可能です。
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