装置定期点検

半導体製造装置 イオン注入装置の部品洗浄・オーバーホール

対象となる装置

メーカー 機種 対応品
SEN HC3 ソースヘッド・引出電極・可変アパチャー・フラグファラデー・プラズマシャワー・Qレンズ・ディセルビームガイド・ジャイロベローズ・トラパック・配管・他
SEN HE3 ソースヘッド・引出電極・リゾルバファラデー・インジェクターファラデー・ディスクファラデー・Qレンズ・AMUムガイド・配管・他
SEN LEX3 ムーバブルソーズ・引出電極・ビームガイド・ジャイロベローズ・プラズマシャワーチューブ・エクステンションチューブ・各種バルブ・配管・他
SEN SHXⅡ ソースヘッド・引出電極・プラズマシャワー・ヒートシールド・マグネットボックス・スキャナ・インジェクターファラデー・ビームガイド・各種プレート・各種カバー・配管・他
日新イオン機器 EXCEED2300 ソースヘッド・引出電極・イオン源スタンド・PFG・ロービームアパチャー・分析スリット・絶縁配管・加速管サプレッサー・各種ファラデー・ポールピース・配管・他
日新イオン機器 EXCEED3000
バリアンセミコンダクターイクイップメント VIIStaHC ソースヘッド・引出電極・PFG・D2レンズ・グランドエレクトロード・レゾルビングASSY・各種バルブ・配管・他
バリアンセミコンダクターイクイップメント VIIStaHCP
バリアンセミコンダクターイクイップメント VIIStaHCP PLUS
ご利用業界
  • 半導体製造(イオン注入装置)
  • フラットパネルディスプレイ(FPD)製造

部品洗浄・オーバーホールの流れ

20年の実績に裏打ちされた作業の正確性
総勢30名のスタッフが、スピーディーかつ柔軟に対応

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次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
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