装置定期点検

サーマルプロセス(熱処理成膜装置)/CVD装置の部品洗浄・オーバーホール

対象となる装置

サーマルプロセス(熱処理成膜装置)
メーカー 機種 対応品
東京エレクトロン Formula 各種トラップ・各種マニホールド・ガス導入配管・真空配管・排気配管・各種バルブ
東京エレクトロン α-303i
東京エレクトロン TEL-INDY
日立国際電機 QLV2
CVD装置
メーカー 機種 対応品
東京エレクトロン Trias 各種トラップ・各種配管・各種バルブ
ご利用業界
  • 半導体製造(サーマルプロセス)
  • 半導体製造/フラットパネルディスプレイ(FPD)製造(CVDプロセス)

部品洗浄・オーバーホールの流れ

  • トラップ
    トラップ
  • マニホールド
    マニホールド
  • ガス配管
    ガス配管
  • 真空配管
    真空配管
  • 各種トラップ
    各種トラップ

20年の実績に裏打ちされた作業の正確性
総勢30名のスタッフが、スピーディーかつ柔軟に対応

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次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
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