装置定期点検

半導体製造装置 DRY装置の部品洗浄・オーバーホール

対象となる装置

メーカー 機種 対応品
ラムリサーチ EXELAN チャンバーライナー・グランドリング・バルブ
日立 U702A 各種チャンバー構成部品・バリアブルバルブ
日立 U7050
AMJ CENTURA DPS リフトピン
ご利用業界
  • 半導体製造(DRY装置)

部品洗浄・オーバーホールの流れ

  • グランドリング
    グランドリング
  • チャンバーライナー
    チャンバーライナー
  • チャンバー構成アルミ・SUS部品
    チャンバー構成アルミ・SUS部品
  • チャンバー構成テフロン部品
    チャンバー構成テフロン部品

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総勢30名のスタッフが、スピーディーかつ柔軟に対応

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次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
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