半導体製造装置 真空ポンプ洗浄|部品洗浄・オーバーホール|理化学用ガラス機器の【旭製作所】

装置定期点検

半導体製造装置 真空ポンプの部品洗浄・オーバーホール

対象となる装置

メーカー 機種
島津製作所 ターボ分子ポンプ各種
荏原製作所 ドライポンプ各種
【備考】
メーカー下請け業務であり、ユーザーから直接受注はお受けできません
ご利用業界
  • 真空プロセス全般

部品洗浄・オーバーホールの流れ

  • 動翼洗浄前
    動翼洗浄前
  • 動翼洗浄前
    動翼洗浄前
  • 動翼洗浄前
    静翼洗浄前
  • 動翼洗浄後
    動翼洗浄後
  • 動翼洗浄後
    動翼洗浄後
  • 動翼洗浄後
    静翼洗浄後

20年の実績に裏打ちされた作業の正確性
総勢30名のスタッフが、スピーディーかつ柔軟に対応

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次の製品にはヒアリングシートをご用意しております。
反応装置 ラボタイプ(~5L) / 反応装置 プラントタイプ(6L~)
薄膜蒸発装置・ショートパスエバポレーター・分子蒸留装置
※各製品名をクリックの上、ヒアリングシートをダウンロードして下さい。

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