半導体・光ファイバー用石英ガラス製品
半導体や光ファイバーの製造工程において使用される、各種石英ガラス製品を製造・販売しています。
特殊形状、高精度化等のご要望のほか、各材質（合成・天然石英）にも対応できますので、ぜひご相談ください。
半導体用製品
-
プロセスチューブ
半導体製造プロセスの拡散工程などに使用されるプロセスチューブ。
ウェハーの大口径化に伴う特殊形状・高精度化にも対応可。 -
ウエハーボート
LPCVD / 拡散プロセス・ウェットプロセス用石英ボート（縦型・横型）。
ウェハーの大口径化に伴う特殊形状・高精度化にも対応可。 -
クォーツウエハ
半導体製造等で使用される円形基盤。
・呼び径：2 in. ～ 12 in. -
断熱筒
縦型プロセスチューブ下部の断熱に使用。
-
石英槽
ウェハーの薬液処理・超純水処理洗浄等に使用。
シングル槽からオーバーフロー付のニ重槽まで、様々な形状に対応可。
光ファイバー用製品
-
マルチバーナー
VAD/OVD法にて使用。ノズルに改良を加えることにより、 高出力・省エネルギーを実現（特許 : 第3640071号）。
• 最大外径：Φ110 mm -
多重管バーナー
石英管を多重に配置したバーナー。三次元測定装置にて検査を行うことで、高い製品精度、再現性を保持。
• 最大管数 : 18
• 各管径公差 : ±0.05 ～ ±0.20 mm • 同軸度 : ±0.10 ～ ±0.20 mm -
小口径バーナー
MCVD法にて使用。マルチバーナー同様、ノズルに改良を加えた高出力・省エネルギーの小型バーナー。
正確で安定した焦点距離を実現。 -
支持棒
高い真直性を実現。
・サイズ：Φ100 × 長さ4,200 mm
・径公差：±0.05 mm ・振れ精度：±0.15 mm -
カップリング
支持棒とダミーロッドを確実に接続。
・支持棒とのはめ込み公差：±0.05 mm -
ダミーロッド
・最大製作寸法：外径Φ120 × 長さ3,000 mm
・径公差 : ±0.05 mm
・振れ精度 : ±0.10 mm -
炉芯管
フランジに対し、本体の真直度が高い炉芯管。
サイズ
・最大外径：Φ350 mm
・最長：3,500 mm
・振れ精度：±1.0 mm
