



どんな優れた生産装置も、汚れや生成物が付着すると、本来の性能を発揮できず、生産効率や生産の正確性が下がってしまいます。
しかし、付着している薬液の処理や、駆動部分の組み立てなど、精密機械の洗浄には、熟練した技術が必要です。
旭製作所では、イオン注入装置、サーマルプロセス、CVD装置、DRY装置など、半導体製造関連装を中心に、装置の部品洗浄、オーバーホール業務を承っております。
従来の薬液洗浄や超音波洗浄に、最新技術であるドライアイス洗浄を組み合わせることで、素材を傷つけず、かつ精度の高い洗浄が可能になりました。ナノレベルの繊細な洗浄から、熱硬化した汚れの洗浄まで、どんな装置・汚れでも対応致します。
西日本エリア全域(離島を除く)
※一部製品・一部業務はお受けできないエリアがあります。